HDI談到盲/埋孔,首先從傳統多層板說起。標準的多層板結構,是含內層線路及外層線路,再利用鉆孔,以及孔內金屬化的制程,來達到各層線路之內部連結功能。但是因為線路密度增加,零件的封裝方式不斷的更新。為了讓有限的HDI PCB面積,能旋轉更多更高性能的零件,除線路寬度越細外,孔徑變從DIP插孔孔徑1mm縮小為SMD的0.6mm,更進一步縮小為0.4mm以下。但是仍會占用面積,因而有埋孔及盲孔的出現,其定義如下:

A.埋孔(Buried Via)
內層間的通孔,壓合后,無法看到所以不必占用外層之面積。
B.盲孔(Blind Via)
應用表面層和一個或多個內層的連通
20.1埋孔設計與制作
埋孔的制作流程較傳統多層板復雜,成本亦較高,圖20.2顯示傳統內層與有埋孔之內層制作上的差異。
20.2盲孔設計與制作
密度極高,雙面SMD設計的板子,會有外層上下,I/O導孔間的彼此干擾,尤其是有VIP(Via-in-pad)設計時更是一個麻煩。盲孔可以解決這個問題。另外無線電通訊的盛行,線路之設計必達到RF(Radio frequency)的范圍,超過1GHz以上,HDI盲孔設計可以達到此需求,
盲孔HDI板的制作流程有三個不同的方法,如下所述
A.機械式定深鉆孔
傳統多層板之制程,至壓合后,利用鉆孔機設定Z軸深度的鉆孔,但此法有幾個問題
a.每次僅能一片鉆產出非常低
b.鉆孔機臺面水平度要求嚴格,每個spindle的鉆深設定要一致否則很難控制每個孔的深度
c.孔內電鍍困難,尤其深度若大于孔徑,那幾乎不可能做好孔內電鍍。
上述幾個制程的限制,己使此法漸不被使用。
B.逐次壓合法(Sequential lamination)
逐次壓合法可同時制作HDI的盲埋孔。首先將四片內層板以一般雙面皮的方式線路及PTH做出(也可有其他組合;六層板+雙面板、上下兩雙面板+內四層板)再將四片一并壓合成四層板后,再進行全通孔的制作。此法流程長,成本更比其它做法要高,因此并不普遍。
C.增層法(Build up Process)之非機鉆方式
目前此法最受全球業界之青睞,而且國內亦不遑多讓,多家大廠都有制造經驗。
此法延用上述之Sequential lamination的觀念,一層一層往板外增加,并以非機鉆式之盲孔做為增層間的互連。其法主要有三種,簡述如下:
a.Photo Defind 感光成孔式 利用感光阻劑,同時也是永久介質層,然后針對特定的位置,以底片做曝光,顯影動作,使露出底部銅墊,而成碗狀盲孔,再以化學銅及鍍銅全面加成。經蝕刻后,即得外層經與Blind Via,或不用鍍銅方式,改以銅膏或銀膏填入而完成導電。依同樣的原理,可一層一層的加上去。
b.Laser Ablation鐳射燒孔,雷射燒孔又可分為三;一為CO2鐳射。一為Excimer雷射,另一則為Nd:YAG鐳射此三種鐳射燒孔方法的一些比較項目,
c.干式電漿蝕孔(Plasma Etching) 這是Dyconex公司的專利,商業名稱為DYCOSTRATE法, 三種盲孔制程應可一目了然。濕式化學蝕孔(Chemical Etching)則不在此做介紹。
解說了盲/埋孔的定義與制程,傳統多層板應用埋/盲孔設計后,明顯減少面積的情形。
埋/盲孔的應用勢必越來越普遍,而其投資金額非常龐大,一定規模的中大廠要以大量產,高良率為目標,較小規模的廠則應量力而為,尋求利基市場,以圖永續經營。

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